X熒光光譜儀隨著分光、探測(cè)系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計(jì)算機(jī)的應(yīng)用，而得到迅速的推廣和發(fā)展?？梢灶A(yù)料，對(duì)新技術(shù)、新方法的探索，還會(huì)不斷促進(jìn)X熒光光譜儀器的更新發(fā)展。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法，X射線(xiàn)熒光是用高能量X射線(xiàn)或伽瑪射線(xiàn)轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)X射線(xiàn)，這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫(huà)和壁畫(huà)。

X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長(zhǎng)色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF），我們通常所說(shuō)的X熒光光譜儀就是指波長(zhǎng)色散的儀器，X熒光光譜儀可對(duì)固體、粉末、液體、懸浮物、過(guò)濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進(jìn)行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。

X熒光光譜儀在無(wú)損檢測(cè)方面，具有其他剖析技能無(wú)法比較的長(zhǎng)處，應(yīng)用X射線(xiàn)光譜儀掃描辦法探測(cè)土壤表層下面的是元素是X射線(xiàn)無(wú)損檢側(cè)技能的一個(gè)主要使用范疇，X熒光光譜儀根據(jù)有手持和臺(tái)式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成，根據(jù)各元素的特征X射線(xiàn)的強(qiáng)度，也可以獲得各元素的含量信息。

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